设备特点：

● 高效真空泵可快速达到高真空度

● 高稳定 微波 电源可输出高蚀刻效率

● 高精度开关可瞬间控制气体流量

● 高敏感度传感器可实时监控整个蚀刻过程的任何异常

● 一键式编程设计便于操作