设备特点:

● 自主研发高精度气浮主轴及平台

● 高精度薄系统

　√ 片间厚度差<3um

　√ 单片厚度差<3um

　√ 表面粗糙度<0.05um(#8000)

　√ 薄厚度可达50um

● 适用材料:si/sic

● 自动吸盘清洗与晶圆清洁系统

● 在线式测厚仪，精准监控薄厚度变化