设备特点:

● 整片晶圆开槽 

● 高精度 CCD对位

　√ 辨识点对位

　√ 自动计算晶圆中心

　√ 自动计算经圆旋转角度

　√ 预先扫描位置补偿 

● 小激光束宽:4um
● 晶圆尺寸:6"~12"(含铁框)
● 高精度工作台:1.0pm
● 高开槽精度:3 pm